| 品牌 | 其他品牌 | 产地 | 国产 |
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闭循环低温探针台半导体参数分析仪，LH-CRPS-10K是一种低成本无需消耗制冷剂，依靠制冷机提供冷源的闭循环低温探针台。此款低温探针台设计的初衷就是操作便利性和可靠的专业测量能力，为制冷剂获得比较困难的客户提供了一个可以的解决方案。通过闭循环制冷机降温，降温过程中不需要其它辅助设备，只需要很少的电能即可，也不需要科研人员值守操作。
丰富的选件和配置确保科研人员能够实施严苛的、富有挑战的测试测量。LH-CRPS-10K是德世闭循环探针台家族中价格蕞低的一款探针台，蕞低温度低于10K，它的多功能性和可靠低温性能，成为了各地科研工作者的首先。多个温度传感器分布于探针台各个位置，确保温度监视和测量的准确性和重复性。由于是二级制冷平台制冷机提供冷源，这样能保证样品温度维持在相对较高的温度，同时样品处于真空环境中，减少了凝结的可能性，在一些有机材料的严格测试要求中这一点比较重要。
LH-CRPS-10K可以实现I-V、C-V等测试，最大可安装样品台直径51mm(2in)，出厂时标准配置三同轴样品台，标准温度范围10K-350K，选件可实现温度范围20K-675K。
闭循环低温探针台半导体参数分析仪
特点:
无需消耗制冷剂
全程无值守降温
丰富的选件和配件
远程软件控温
德世蕞低成本的闭循环制冷机探针台
1.两级制冷平台制冷机提供冷源，一级制冷平台冷却辐射屏，二级制冷平台冷却样品台
2.防辐射屏包围着样品台，顶端带有可视窗口，安装红外吸收石英窗片
3.两级制冷平台制冷机，在10K时有3.5w的制冷量
温度属性 | ||
蕞低温度 | 控温范围 | 配置 |
8K | 8.5K-350K | 2个探针臂 |
9K | 9.5K-350K | 4个探针臂 |
10K | 10.5K-350K | 6个探针臂 |
20K | 20K-675K | 高温样品台 |
控温稳定性 | |
温度范围 | 稳定性 |
蕞低温不控温 | |
<10K | ±50mK |
11K-100K | ±10mK |
101K-250K | ±10mK |
351K-675K | ±50mK |
真空性能 | |
室温 | <5X10-3Pa |
蕞低温 | <5X10-4Pa |
最高温 | <5X10-3Pa |
注：以上数据使用600L涡轮分子泵组得到 | |
样品振动 | |
X方向 | <5μm |
Y方向 | <5μm |
Z方向 | <1μm |
注：可选低振动配置，各方向振动<1μm | |
时间参数：
◆抽空时间：0.5h(与泵组相关)
◆降温时间：从室温到蕞低温2.5h
◆升温时间：从蕞低温到室温2h
样品台：
◆标准样品台：51mm(2in)
◆样品台背光：无
◆样品台类型：三同轴样品台(标配)、接地样品台(选配)、0.15T垂直磁场样品台(选配)
◆样品台旋转：无
探针：
◆探针数量：最多6个
◆探针传感器：硅二极管，监视探针温度
◆探针托温度：<20K样品台处于蕞低温度
◆探针热沉：热沉到样品台或者相同温度的防辐射屏
◆探针臂：热沉到防辐射屏
◆DC/RF探针：绝缘电阻>100GΩ,漏电流<100fA
◆微波探针：DC到67GHz,用于微波测量
◆光纤探针：用于光电测量，可选FC/APC或者SMA905接口，波长可选
探针位移：
◆X方向行程：75mm,移动分辨率3μm
◆Y方向行程：25mm,移动分辨率5μm
◆Z方向行程：25mm,移动分辨率5μm
显微镜配置
3400万像素CCD相机
支持4K视频录制
4条水平线4条垂直线，带测量软件
标准HDMI接口
电子缩放1x-10x
景深同轴光镜头，带LED同轴光源
光学倍数0.7-5X，连续变倍比7.1:1
电子倍数20-200x
成像距离140-180mm
景深高度：10mm
观看面积1mm-18mm
制冷剂消耗：
◆室温到蕞低温度：不需要
◆液氦消耗(5K):不需要
探针台配置
温度配置 | |
样品台传感器加热器 | 硅二极管传感器、100W加热器 |
防辐射屏传感器加热器 | 硅二极管传感器、100W加热器 |
二级制冷平台传感器加热器 | 硅二极管传感器、100W加热器 |
探针臂传感器 | 硅二极管传感器(安装在其中一个针臂) |
温度控制 | |
控温仪型号 | 斯坦福CTC100四通道温度控制器 |
低温输液管 | 不需要 |
低温液体储存罐 | 不需要 |
支架 | |
支架尺寸 | 长宽高660X660X640mm(不含地脚) |
地脚 | 4个橡胶减振地脚，承重500公斤 |
桌面 | 长宽厚710X710X20mm |
真空腔体 | |
材料 | 铝本色氧化(可选不锈钢电镀铬) |
外部直径高度 | 245X170mm |
内部直径高度 | 215X165mm |
可视窗净尺寸 | φ65毫米，红外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
真空阀门 | KF16手动挡板阀 |
放气阀 | 手动放气阀 |
预留接口 | 预留通用安装接口 |
探针引出口 | 六个真空三同轴接口(DC探针，选择其它探针，接口不同) |
防辐射屏 | |
材料 | 铜镀金 |
外径 | 182mm |
可视窗净尺寸 | 45mm,配红外吸收窗口 |
抽空泵组 | |
分子泵组 | 可选(客户可自备) |
机械泵组 | 可选(客户可自备) |
抽空减振块 | |
抽空减振块 | KF25进出气口，重量20公斤 |
配电要求 | |
单相电压 | 220V/50Hz |
单相功率 | 1KW |
三相电压 | 三相五线制，380V/50Hz |
三相功率 | 6KW |
水冷要求 | |
制冷功率 | 5KW@25℃ |
水流量 | 7L-10L/min(28℃) |
三相电压 | 三相五线制，380V/50Hz |
三相功率 | 3KW |
样品托
接地样品托
直接安装在样品台，尽量减小对样品的温度梯度，与整个探针台电器接通
注：可选圆形和方形，性能无差异
同轴样品托
样品托表面与探针台整体电器绝缘，通过BNC接口穿过真空室
注：可选圆形和方形，性能无差异
三同轴样品托
在同轴样品托的基础上增加GUARD层，层与层之间电器绝缘，提供保护电压层，减小漏电流
注：可选圆形和方形，性能无差异
磁场样品托
磁场样品托提供了一种低成本便捷的磁场测试环境，样品托安装在样品台上，和探针台整体供地。磁场样品托一套包括四种磁场产生环和一个安装托。
根据不同的磁场需求，选择使用不同的磁场产生环。四个磁场产生环分别能产生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁场。
样品托配置
类型 | 接口 | 尺寸 | |
设备包括 | 接地样品托 |
无 | φ51mm(2in) |
选件 | 接地样品托 | φ51mm(2in) | |
同轴样品托 | BNC | φ51mm(2in) | |
三同轴样品托 | TRIAX | φ51mm(2in) | |
注：其它尺寸样品托接受定制 | |||
样品托性能
电绝缘 | 温差 | 温度 | |
接地样品托 | 导通 | 0.1K-0.2K | 400K |
同轴样品托 | >100MΩ | ≈1K | 400K |
三同轴样品托 | >100GΩ | ≈1K-2K | 400K |
1.电绝缘测试是在10V电压情况下，测量导电面之间的电阻 2.温差是样品托表面和样品台之间存在的温差。样品的热接触好坏以及样品大小，都会对温差产生影响，热接触不充分样品负载大，会增加温差。 | |||
接口
BNC | 同轴样品托-配2耳BNC真空接口以极低温同轴线缆 |
TRIAX | 三同轴样品托-配3耳三同轴真空接口以及低温同轴线 |
探针臂配置
德世标准的微操作针臂，能安装各种类型的探针，满足绝大部分科研需求，实现直流、射频、微波以及光学测量。
u灵活容易扩展的探针集合
u微操作针臂可以在全温区、真空环境、磁场环境下使用
u可以配置在德世任意款探针台上
u磁场探针台中更换成无磁材料针臂
u针臂上安装一个标准温度传感器，可以接受定制传感器类型
探针配置及用途
通用DC | 小信号低噪声DC测量 |
高阻DC | 高阻抗低漏电流测量 |
RF-1GHz | KHz和MHz级别的测量，测量带宽高达1GHz。可以升级到RF/微波-40GHz测量，需要购买一个GSG探针 |
RF/微波-40GHz | 可实现高达40GHz的测量，同时也能实现兼容DC测量 |
RF/微波-67GHz | 可实现高达67GHz的测量，同时也能实现兼容DC测量 |
光纤探针 | 给样品通光或者从样品采集光，可选波长，可选FC/APC或者SMA905接口 |
探针硬件配置
接口 | 探针 | 内部线 | 水平角度 | 定制 | |
通用DC | 3耳BNC | SMA低温探针 | 微型低温同轴线，屏蔽层接地 | ±5° | 探针针尖和直径 |
高阻DC | 3耳triaxial | SMA低温探针 | 微型低温同轴线，屏蔽层接三同轴GUARD | ±5° | 探针针尖和直径 |
RF-1GHz | 2.92mm(K型连接器) | SMA低温探针 | 2.92mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地 | ±5° | 探针针尖和直径 |
RF/微波-40GHz | 2.92mm(K型连接器) | 40G-GSG探针 | 2.92mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地 | ±5° | GSG针尖距离 |
RF/微波-67GHz | 1.85mm(Z型连接器) | 67G-GSG探针 | 1.85mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地 | ±5° | GSG针尖距离 |
光纤探针 | FC/APC或SMA905 | 无 | 光纤 | ±5° | 类型、波长、入射角 |
探针性能
使用频率 | 绝缘电阻 | 电容 | 阻抗 | 反射 | 传输 | |
通用DC | DC-50Hz | >100MΩ | <100pF | 50Ω | 无 | 无 |
高阻DC | DC-50Hz | >100GΩ | <100pF | 无 | 无 | 无 |
RF-1GHz | DC-1GHz | >10MΩ | 未测量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
RF/微波-40GHz | DC-40GHz | >1MΩ | 未测量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
RF/微波-67GHz | DC-67GHz | >1MΩ | 未测量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
光纤探针 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | |
注：绝缘电阻在100V电压下测量得到 | ||||||
探针定位
X轴 | Y周 | Z轴 | |
行程 | 75mm(2in) | 25mm(1in) | 25mm(1in) |
精度 | 3μm | 5μm | 5μm |
SMA低温专用探针
德世为低温探针台设计专用探针，探针具有强大的通用性，能实现直流偏置、低/高频测量、低噪声屏蔽和低漏电流测量。SMA低温探针主体由陶瓷或者FR4制作，低温焊料焊接SMA接口，50欧姆阻抗传输线，可配置钨、P7或者铍铜探针，无氧铜热沉带，热沉到样品台
型号 | 材料 | 针尖直径（µm） |
SMA-05D-01-W | 钨 | 1 |
SMA-05D-05-W | 5 | |
SMA-05D-10-W | 10 | |
SMA-05D-20-W | 20 | |
SMA-05D-100-W | 100 | |
SMA-05D-01-BC | 铍铜 | 1 |
SMA-05D-05-BC | 5 | |
SMA-05D-10-BC | 10 | |
SMA-05D-20-BC | 20 | |
SMA-05D-100-BC | 100 | |
SMA-05D-01-P7 | Paliney7合金 | 1 |
SMA-05D-05-P7 | 5 | |
SMA-05D-10-P7 | 10 | |
SMA-05D-20-P7 | 20 | |
SMA-05D-100-P7 | 100 |
针尖材料 | 描述 | 应用 | 导电性 | 接触电阻 | 寿命 |
钨(W) | 常用，耐用 | 适用各种样品表面，能穿透氧化层 | 好 | 小 | 长 |
铍铜(BC) | 常用，接触电阻小 | 沉金焊盘pad | 优 | 最小 | 长 |
paliney7合金(P7) | 专用，接触电阻小 | 精密的焊盘pad | 好 | 小 | 长 |
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