详细介绍
低温恒温杜瓦 冷台真空腔体 液氮控温系统。这套液氮控温低温恒温杜瓦冷台真空腔体集成系统,整合冷台真空腔体、真空机组、液氮补液杜瓦罐、智能控温单元、真空输送管路五大核心部件,专为材料低温物性测试、半导体器件低温可靠性检测、光学低温实验、精密零部件深冷处理等场景打造,实现高真空环境下精准低温恒温控制,整套设备模块化组装、布局紧凑,可快速完成现场安装调试。
一、系统各单元功能说明
液氮补液杜瓦罐带移动脚轮设计,转运灵活便捷,集成多路阀门调压结构,通过真空绝热管路持续稳定输送低温液氮,可长效存储低温介质、不间断为冷台供给冷源,无需频繁人工加注液氮,保障长时间连续低温实验运行,绝热性能优异,液氮自然损耗率低,大幅降低耗材使用成本。
真空系统(真空泵组)配套专用高真空泵组,与真空腔体密闭连通,快速抽取腔体内部空气,构建高真空隔绝环境。真空环境可规避空气对流带来的热量侵入,极大减少冷台冷量损耗,杜绝水汽结霜、器件氧化问题,稳定维持腔体内部真空度,适配各类高真空低温实验工况。
冷台真空腔体主机腔体集成内置低温冷台,液氮流经换热结构实现冷量传导,腔体密封结构可靠,配合真空系统形成密闭低温真空工作腔;冷台温度均匀性好,可稳定承载试样、芯片、光学元件等被测工件,腔体预留标准外接接口,便于搭配外部观测、电学、光学检测设备联用。
智能控温系统独立电控操作终端,集成温度采集、闭环调控、参数设定、超限报警功能,实时采集冷台实际温度,自动调节液氮供给流量,精准恒定目标低温区间,温度调控精度高,可一键设定降温速率、恒温时长、升温程序,全程自动化运行,无需人工值守干预。
真空绝热输送软管双层真空绝热软管连接杜瓦罐与真空腔体冷台,阻隔外界环境热量渗入,避免液氮输送途中提前汽化损耗,管路柔性易排布,适配设备不同摆放间距,密封性强,无漏冷、漏气隐患,保障冷源输送稳定可靠。


